采用MEMS传感器,响应速度快
零点稳定,精度高、重复性好
量程比宽,流量范围可选
可显示正流量和反向流量
多种信号输出可选
标准机械接口可选
采用MEMS传感器,响应速度快
零点稳定,精度高、重复性好
量程比宽,流量范围可选
可显示正流量和反向流量
多种信号输出可选
标准机械接口可选
半导体工业 | 电子行业 |
技术指标
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测量精度 | 流量小于100NL/min时:±(1.0+0.4FS)% |
工作电源 | DC15-24V/100mA |
预热时间 | 3-4分钟 |
响应时间 | 50ms |
输出方式 | 4-20mA或RS485 |
零点漂移 | ±20mV |
显示格式 | 瞬时流量,累计流量 |
工作温度 | -10℃~55℃ |
工作湿度 | <95%RH(无结霜,无结冰) |
储存温度 | -10~65℃ |
通讯方式 | RS485(Modbus RTU协议) |
工作压力 | ≤1.0MPa |
校准介质 | 空气:20℃,101.325kPa |