KF151系列热式气体质量流量控制器 - 宁波市科奥流量仪表有限公司

控制量程从1 - 100SCCM到3 - 300SLPM

KF151系列热式气体质量流量控制器基于热传导原理，通过内置加热元件与温度传感器，检测气体流动时对热量的带走速率，利用恒温差或热扩散技术，将流量信号转化为电信号实现精准控制，可直接测量质量流量，无需温度压力补偿。其应用广泛，在半导体制造中精确控制工艺气体流量，保障芯片制程精度；在化工领域用于反应釜进料控制，提升生产稳定性；还可用于医疗设备气体配比、环境监测气体分析及实验室气体流量调控等场景，是工业自动化与科研领域的关键测控设备。

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采用MEMS传感器，响应速度快
零点稳定，精度高、重复性好
量程比宽，流量范围可选
可输入设定流量，控制阀响应速度快
多种信号输出可选
标准机械接口可选

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科研领域

技术指标
测量精度	±(1.5+0.2FS)%
工作电源	DC24V/200mA
响应时间	1 - 5s
输出方式	4-20mA或RS485
零点漂移	±20mV
显示格式	瞬时流量，累计流量
工作温度	-10℃~55℃
工作湿度	<95%RH(无结霜，无结冰)
储存温度	-10℃~65℃
通讯方式	RS485(Modbus RTU协议)
工作压力	≤1.0MPa
校准介质空气	空气 20℃，101.325kPa