优势/特点直接测量气体质量流量，无需进行温度和压力补偿
测量范围宽广，量程比可达 100:1
能在低流速（如 0.05m/s）状态下稳定工作
响应速度快，可实时跟踪流量变化
±1.5%高精度
结构简单，压损小，安装维护便捷
重复性和稳定性，抗干扰能力强
可测量多种气体，包括一些腐蚀性气体
直接测量气体质量流量，无需进行温度和压力补偿
测量范围宽广，量程比可达 100:1
能在低流速（如 0.05m/s）状态下稳定工作
响应速度快，可实时跟踪流量变化
±1.5%高精度
结构简单，压损小，安装维护便捷
重复性和稳定性，抗干扰能力强
可测量多种气体，包括一些腐蚀性气体
半导体工业 | 电子行业 |
技术指标
| |
介质 | 和材质兼容的气体。 |
过程材质 | 304不锈钢或316不锈钢 |
外壳材质 | 压铸铝 |
精度 | 士1. 5%RS |
重复性 | 土0.2% |
流速范围 | 0.05m/s - 100m/s |
耐压等级 | 法兰式可选1.6，2.5 或4.0MPa，插入式1.6MPa |
溫度范围 | -10℃ - 200 °C |
电源 | 220VAC 或 24VDC |
输出 | 输出4-20mA、脉冲、RS485 |
显示 | 16字符X 4 行 |
报警输出 | 2路继电器，3A/250V AC、3A/30V DC |
防护等级 | IP65 |
电缆接口 | M20*1 5 |
